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石英管的選用與檢測(cè)方法

2021-12-09 10:50:27 點(diǎn)擊數(shù):

選用

閉管擴(kuò)散要用石英管,這是由于石英管能耐1250℃左右的高溫,而且在1800℃以上時(shí)會(huì)變得很柔軟且很粘,能做成所需要的形狀。另一方面,由于石英管采用的原料是特級(jí)水晶石,純度高,含有害的雜質(zhì)很少,對(duì)于擴(kuò)散、配制合金等能保證質(zhì)量,因此閉管擴(kuò)散常采用石英管。 石英管的制備:根據(jù)擴(kuò)散硅片直徑的不同,來(lái)選擇石英管的內(nèi)徑、壁厚等參數(shù)。

檢測(cè)

(1)石英管的阻值檢測(cè) 石英管可以通過(guò)萬(wàn)用表檢測(cè)其阻值,將萬(wàn)用表?yè)跷徽{(diào)至“蜂鳴擋”,將紅黑表筆分別搭在石英管的兩端,如下圖所示,此時(shí)萬(wàn)用表的蜂鳴器應(yīng)當(dāng)發(fā)出響聲,并且指針應(yīng)當(dāng)指向零。若檢測(cè)時(shí),萬(wàn)用表蜂鳴器無(wú)聲音發(fā)出,并且指針指向無(wú)窮大時(shí),說(shuō)明石英管的內(nèi)部發(fā)生損壞。

(2)石英管的供電電壓檢測(cè) 檢測(cè)石英管的供電電壓時(shí),首先將萬(wàn)用表的量程調(diào)至“交流250V”電壓擋,紅黑表筆分別搭在石英管的供電端,如下圖所示。此時(shí)觀察萬(wàn)用表的讀數(shù),若在交流220V左右,則說(shuō)明石英管的供電電壓正常。

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